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HVC HVR Tech Insights: Dickschichtmaterialien & Leistungsanalyse
Eine Studie zur Dickschichttechnologie basierend auf einer leitfähigen RuO₂-Phase und einem Al₂O₃-Keramiksubstrat. Diese Arbeit analysiert systematisch die Materialzusammensetzung und den Herstellungsprozess.
Antwort aus dem Ingenieurwesen
Dieser Artikel bietet einen detaillierten technischen Vergleich und Querverweis Informationen zu Hochspannungskomponenten, die Ingenieuren helfen, geeignete HVC-Alternativen für ihre spezifischen Anwendungsanforderungen zu identifizieren.
- Abstimmung anhand von Nennspannung, Kapazitäts-/Widerstandswert, physikalischen Abmessungen und dielektrischer Klasse.
- Fordern Sie Querverweistabellen und Maßzeichnungen von der HVC-Entwicklungsabteilung zur Überprüfung der mechanischen Passung an.
- Prüfen Sie den Ersatz unter voller Betriebsspannung und -temperatur, bevor Sie die Produktionsersetzung genehmigen.
Eine Studie zur Dickschichttechnologie basierend auf einer leitfähigen RuO₂-Phase und einem keramischen Al₂O₃-Substrat
Diese Arbeit analysiert systematisch die Materialzusammensetzung, den Herstellungsprozess und die elektrischen Eigenschaften der Hochspannungs-Dickschichtwiderstände der HVR-Serie von HVC. Die Produktreihe verwendet Rutheniumoxid (RuO₂) als leitfähige Phase und 96%iges Al₂O₃-Keramik als Substratmaterial. Die Herstellung erfolgt mittels Siebdruck und Hochtemperatursintern. Experimentelle Daten belegen einen Temperaturkoeffizienten des Widerstands (TCR) von ±15 ppm/°C und einen Spannungskoeffizienten des Widerstands (VCR) von 0.1 ppm/V. Die Widerstände zeichnen sich durch hervorragende Stabilität und Zuverlässigkeit in Hochspannungsanwendungen aus.
Hochspannungs-Dickschichtwiderstände sind kritische passive Bauelemente in der Leistungselektronik, Medizintechnik, Präzisionsmesstechnik und weiteren Anwendungsgebieten. Angesichts des Trends zu Miniaturisierung und Leistungssteigerung von Bauelementen steigt der Bedarf an verbesserter Temperaturstabilität, Spannungslinearität und Langzeitstabilität bei Hochspannungswiderständen. Diese Forschungsarbeit befasst sich mit Engpässen in der Lieferkette traditioneller Produkte wie OHMITE und entwickelt eine vollständig kompatible Alternativlösung.
2.1 Leitfähiges Phasenmaterial: RuO₂-basierte Dickschichtwiderstandspaste
RuO₂ (Rutheniumdioxid) ist ein metallischer Oxidleiter mit folgenden Eigenschaften: - Widerstand: Ungefähr 35 μΩ·cm (bei Raumtemperatur), einstellbar durch Partikelgröße und Glasanteil. Thermische Stabilität: Stabil bei einer Sintertemperatur von 850 °C, ohne Phasenumwandlung. Chemische Stabilität: Beständig gegen Säure- und Laugenkorrosion, geeignet für Anwendungen in rauen Umgebungen. Leitungsmechanismus: Metallische Wärmeleitung mit einstellbarem Temperaturkoeffizienten.
Laut der Fachliteratur zu Dickschichtwiderständen kann der Widerstandswert von RuO₂-basierten Widerständen näherungsweise mit folgender Formel berechnet werden:
R = ρ × (L/W) × (1/t)
Hierbei ist ρ der Flächenwiderstand (Ω/□), L die Widerstandslänge, W die Breite und t die Filmdicke.
Durch Lasertrimmtechnologie kann eine Präzisionskontrolle von ±1% erreicht werden.
2.2 Substratmaterial: 96 % Al₂O₃-Keramik
Aluminiumoxidkeramik ist das am häufigsten verwendete Substratmaterial für Dickschichtwiderstände. 96 % reines Al₂O₃ weist folgende Leistungsparameter auf: - Dielektrizitätskonstante: εr ≈ 9.0 (bei 1 MHz) - Dielektrischer Verlust: tan δ < 0.
3.1 Siebdrucktechnologie
Mithilfe eines Edelstahlsiebs mit einer Maschenweite von 200-325 wird RuO₂-Paste auf ein Al₂O₃-Substrat gedruckt.
Druckparameter: - Rakeldruck: 20-30 N - Druckgeschwindigkeit: 50-100 mm/s - Abreißabstand: 1-2 mm - Nassfilmdicke: 25-50 μm
3.2 Sinterprozess
Sintertemperaturprofil: - Aufheizphase: Raumtemperatur → 850 °C, Aufheizrate ca. 50 °C/min - Haltephase: 60–90 Minuten bei 850 °C halten - Abkühlphase: Natürliche Abkühlung auf Raumtemperatur
Während des Sinterprozesses schmilzt die Glasphase und umschließt RuO₂-Partikel, wodurch ein dreidimensionales leitfähiges Netzwerk entsteht.
Die Filmdicke nach dem Sintern beträgt etwa 40-50% der Nassfilmdicke.
4.1 Prüfung des Temperaturkoeffizienten des Widerstands (TCR)
Der Temperaturkoeffizient des Widerstands (TCR) ist definiert als die relative Änderungsrate des Widerstandswertes mit der Temperatur:
TCR = (R₂ - R₁) / [R₁ × (T₂ - T₁)] × 10⁶ (ppm/°C)
Testbedingungen: Temperaturbereich von -55°C bis +155°C.
Die Testergebnisse der HVR-Serie von HVC zeigen einen TCR-Wert von ±15 ppm/°C, der deutlich unter dem Industriestandard von ±50 ppm/°C liegt.
4.2 Spannungskoeffizienten-Widerstandsprüfung (VCR-Prüfung)
Der VCR-Wert ist definiert als die relative Änderungsrate des Widerstandswertes in Abhängigkeit von der angelegten Spannung:
VCR = (ΔR/R) / V × 10⁶ (ppm/V)
Testergebnisse: VCR = 0.1 ppm/V, was darauf hinweist, dass der Widerstandswert auch bei Hochspannungsanwendungen sehr stabil bleibt.
4.3 Langzeitstabilitätsprüfung
1000-Stunden-Lasttest gemäß MIL-STD-202-Standard (Nennleistung, +70°C Umgebungstemperatur).
Prüfergebnisse: - Widerstandsdrift: < ±0.5 % - Sichtprüfung: Keine Risse, Blasen oder Verfärbungen - Spannungsfestigkeitsprüfung: Bestanden (1.5-fache Nennspannung)
Durch vergleichende Tests ergibt sich folgendes Bild der wichtigsten Parameter zwischen der HVR-Serie von HVC und der Slim-Mox-Serie von OHMITE:
Temperaturkoeffizient: HVC: ±15 ppm/°C; OHMITE: ±50 ppm/°C
Spannungskoeffizient: HVC: 0.1 ppm/V; OHMITE: < 1 ppm/V
Widerstandstoleranz: HVC: ±1 %; OHMITE: ±1 %
Betriebstemperatur: HVC: -55 bis +155 °C; OHMITE: -55 bis +155 °C
Diese Studie belegt, dass die Hochspannungs-Dickschichtwiderstände der HVR-Serie von HVC durch eine optimierte Formulierung der leitfähigen RuO₂-Phase und einen optimierten Sinterprozess eine ausgezeichnete Temperaturstabilität und Spannungslinearität erreichen.
Die Produktleistung entspricht oder übertrifft die von internationalen Marken wie OHMITE und bietet gleichzeitig kürzere Lieferzeiten und flexiblere Anpassungsmöglichkeiten. Damit stellt sie eine zuverlässige Alternative für Hochspannungswiderstandsanwendungen dar.
Sollten Sie Fragen zu den oben genannten Produkten haben oder technischen Support benötigen, kontaktieren Sie uns bitte:
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Unser Ingenieurteam bietet Ihnen professionelle technische Beratung und Lösungen.
| OHMITE-Modell | Leistung (W) | Spannung (kV) | A (mm) | B (mm) | C (mm) | (Mm) | D (mm) | HVC-Modell |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SLIM-MOX10003 | 0.25 | 1.5 | 7.62 | 7.62 | 2.54 | 2.5 | 0.635 | HVRGHP8.8 |
| SLIM-MOX10103 | 0.5 | 2 | 8.64 | 8.38 | 5.08 | - | 0.635 | HVRGHP9.8 |
| SLIM-MOX10203 | 1 | 5 | 8.64 | 14.73 | 10.16 | - | 0.813 | HVRGHP9.15 |
| SLIM-MOX10303 | 1.25 | 7.5 | 8.64 | 21.08 | 15.24 | - | 0.813 | HVRGHP9.21 |
| SLIM-MOX10403 | 1.5 | 10 | 8.64 | 27.43 | 22.86 | - | 0.813 | HVRGHP9.27 |
| SLIM-MOX10603 | 2 | 15 | 8.64 | 40.13 | 35.56 | - | 0.813 | HVRGHP9.40 |
| SLIM-MOX10803 | 2.5 | 20 | 8.64 | 52.83 | 48.26 | - | 0.813 | HVRGHP9.53 |
| SLIM-MOX20203 | 1.5 | 5 | 14.99 | 14.73 | 10.16 | - | 0.813 | HVRGHP15.15 |
| SLIM-MOX20403 | 2 | 10 | 14.99 | 27.43 | 22.86 | - | 0.813 | HVRGHP15.27 |
| SLIM-MOX20603 | 2.5 | 15 | 14.99 | 40.13 | 35.56 | - | 0.813 | HVRGHP15.40 |
| SLIM-MOX20803 | 3 | 20 | 14.99 | 52.83 | 48.26 | - | 0.813 | HVRGHP15.53 |
| SLIM-MOX21003 | 3.5 | 25 | 14.99 | 65.53 | 60.96 | - | 0.813 | HVRGHP15.66 |
| SLIM-MOX30603 | 3.5 | 15 | 21.34 | 40.13 | 35.56 | - | 0.813 | HVRGHP21.40 |
| SLIM-MOX30803 | 4 | 20 | 21.34 | 52.83 | 48.26 | - | 0.813 | HVRGHP21.53 |
| SLIM-MOX31003 | 4.5 | 25 | 21.34 | 65.53 | 60.96 | - | 0.813 | HVRGHP21.66 |
| SLIM-MOX40403 | 3 | 10 | 27.69 | 27.43 | 22.86 | - | 0.813 | HVRGHP28.27 |
| SLIM-MOX40803 | 5 | 20 | 27.69 | 52.83 | 48.26 | - | 0.813 | HVRGHP28.53 |
| SLIM-MOX41003 | 5.5 | 25 | 27.69 | 65.53 | 60.96 | - | 0.813 | HVRGHP28.66 |
B. Slim-Mox Serie（）
：OHMITE Modell（）| Leistung (W)（Power）| Spannung (kV)（Max）| A (mm)（）| B (mm)（）| C (mm)（）| (mm)（）| d (mm)（）| HVC Modell（HVCProduct）
| OHMITE-Modell | Leistung (W) | Spannung (kV) | A (mm) | B (mm) | C (mm) | (Mm) | D (mm) | HVC-Modell |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SLIM-MOX10002 | 0.4 | 1.5 | 5.08 | 5.08 | 2.54 | 1.8 | 0.635 | HVRGHP5.5 |
| SLIM-MOX10102 | 0.75 | 2 | 6.35 | 6.35 | 5.08 | - | 0.635 | HVRGHP6.6 |
| SLIM-MOX10202 | 1.5 | 5 | 6.35 | 12.7 | 10.16 | - | 0.813 | HVRGHP6.13 |
| SLIM-MOX10302 | 2 | 7.5 | 6.35 | 19.05 | 15.24 | - | 0.813 | HVRGHP6.19 |
| SLIM-MOX10402 | 2.5 | 10 | 6.35 | 25.4 | 22.86 | - | 0.813 | HVRGHP6.25 |
| SLIM-MOX10602 | 3.25 | 15 | 6.35 | 38.1 | 35.56 | - | 0.813 | HVRGHP6.38 |
| SLIM-MOX10802 | 4.25 | 20 | 6.35 | 50.8 | 48.26 | - | 0.813 | HVRGHP6.51 |
| SLIM-MOX20202 | 2.5 | 5 | 12.7 | 12.7 | 10.16 | - | 0.813 | HVRGHP13.13 |
| SLIM-MOX20402 | 3.25 | 10 | 12.7 | 38.1 | 22.86 | - | 0.813 | HVRGHP13.38 |
| SLIM-MOX20602 | 4.25 | 15 | 12.7 | 38.1 | 35.56 | - | 0.813 | HVRGHP13.38 |
| SLIM-MOX20802 | 5 | 20 | 12.7 | 50.8 | 48.26 | - | 0.813 | HVRGHP13.51 |
| SLIM-MOX21002 | 5.75 | 25 | 12.7 | 63.5 | 60.96 | - | 0.813 | HVRGHP13.64 |
| SLIM-MOX30602 | 5.5 | 15 | 19.05 | 38.1 | 35.56 | - | 0.813 | HVRGHP19.38 |
| SLIM-MOX30802 | 6.75 | 20 | 19.05 | 50.8 | 48.26 | - | 0.813 | HVRGHP19.51 |
| SLIM-MOX31002 | 7.5 | 25 | 19.05 | 63.5 | 60.96 | - | 0.813 | HVRGHP19.64 |
| SLIM-MOX40402 | 5 | 10 | 25.4 | 25.4 | 22.86 | - | 0.813 | HVRGHP25.25 |
| SLIM-MOX40802 | 8.25 | 20 | 25.4 | 50.8 | 48.26 | - | 0.813 | HVRGHP25.51 |
| SLIM-MOX41002 | 9 | 25 | 25.4 | 63.5 | 60.96 | - | 0.813 | HVRGHP25.64 |
C. Ultra-Mox-Serie (Power)
：OHMITE Modell（）| Leistung (W)（Power）| Spannung (kV)（Max）| A (mm)（）| B (mm)（）| C (mm)（）| HVC Modell（HVCProduct）
| OHMITE-Modell | Leistung (W) | Spannung (kV) | A (mm) | B (mm) | C (mm) | HVC-Modell |
|---|---|---|---|---|---|---|
| UM025 | 1 | 15 | 25 | 9 | 22.90 | HVRGHP9.25 |
| UM030 | 1 | 10 | 30 | 6 | 27.7 | HVRGHP6.30 |
| UM040 | 1.2 | 20 | 40 | 6 | 37.8 | HVRGHP6.40 |
| UM050 | 3 | 30 | 50 | 12.5 | 47.8 | HVRGHP13.50 |
D. ARC2 Widerstandsserie
：OHMITE Modell（）| Leistung (W)（Power）| Spannung (kV)（Max）| A (mm)（）| B (mm)（）| C (mm)（）| HVC Modell（HVCProduct）
| OHMITE-Modell | Leistung (W) | Spannung (kV) | A (mm) | B (mm) | C (mm) | HVC-Modell |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ARC2-2 | 3.8 | 9 | 27 | 8 | 0.8 | HVRBSP27 |
| ARC2-3 | 5 | 12 | 37 | 8 | 0.8 | HVRBSP37 |
| ARC2-5 | 7.5 | 18 | 52 | 8 | 0.8 | HVRBSP52 |
| ARC2-7 | 10 | 24 | 78 | 8 | 0.8 | HVRBSP78 |
| ARC2-10 | 12.5 | 36 | 103 | 8 | 0.8 | HVRBSP103 |
| ARC2-12 | 15 | 42 | 128 | 8 | 0.8 | HVRBSP128 |
| ARC2-15 | 17 | 54 | 153 | 8 | 0.8 | HVRBSP153 |
E. MOX Widerstandsserie
：OHMITE Modell（）| Leistung (W)（Power）| Spannung (kV)（Max）| A (mm)（）| B (mm)（）| C (mm)（）| HVC Modell（HVCProduct）
| OHMITE-Modell | Leistung (W) | Spannung (kV) | A (mm) | B (mm) | C (mm) | HVC-Modell |
|---|---|---|---|---|---|---|
| MOX-1-12 | 2.5 | 10 | 28.45 | 7.87 | 0.8 | HVRBSP28 |
| MOX-2-12 | 5 | 20 | 53.85 | 7.87 | 0.8 | HVRBSP54 |
| MOX-3-12 | 7.5 | 30 | 79.24 | 7.87 | 0.8 | HVRBSP79 |
| MOX-4-12 | 10 | 40 | 104.65 | 7.87 | 0.8 | HVRBSP105 |
| MOX-5-12 | 12.5 | 50 | 130.05 | 7.87 | 0.8 | HVRBSP130 |
| MOX-1-13 | 2 | 10 | 28.96 | 8.76 | 0.8 | HVRBSP29 |
| MOX-2-13 | 3 | 20 | 54.36 | 8.76 | 0.8 | HVRBSP54 |
| MOX-3-13 | 4 | 30 | 79.76 | 8.76 | 0.8 | HVRBSP80 |
| MOX-4-13 | 5 | 40 | 105.16 | 8.76 | 0.8 | HVRBSP105 |
| MOX-5-13 | 6 | 50 | 130.56 | 8.76 | 0.8 | HVRBSP131 |
| MOX-400-22 | 0.35 | 2.5 | 12.95 | 3.56 | 0.5 | HVRBOP13 |
| MOX-750-22 | 0.7 | 5 | 20.83 | 3.56 | 0.5 | HVRBOP21 |
| MOX-1125-22 | 1.4 | 7.5 | 30.73 | 3.56 | 0.5 | HVRBOP31 |
| MOX-400-23 | 0.75 | 2.5 | 14.78 | 4.19 | 0.5 | HVRBOP15 |
| MOX-750-23 | 1 | 5 | 22.35 | 4.19 | 0.5 | HVRBOP22 |
| MOX-1125-23 | 1.5 | 7.5 | 32.26 | 4.19 | 0.5 | HVRBOP32 |
| MOX910 | 3.9 | 9.4 | 27.2 | 8.2 | 1 | HVRBSP27 |
| MOX920 | 4.6 | 13.8 | 39.5 | 8.2 | 1 | HVRBSP40 |
| MOX930 | 7.8 | 20 | 52 | 8.2 | 1 | HVRBSP52 |
| MOX940 | 11.7 | 30 | 77.6 | 8.2 | 1 | HVRBSP78 |
| MOX950 | 12.5 | 40 | 103.2 | 8.2 | 1 | HVRBSP103 |
| MOX960 | 15.5 | 50 | 123.7 | 8.2 | 1 | HVRBSP124 |
| MOX970 | 19.4 | 60 | 153.7 | 8.2 | 1 | HVRBSP154 |
7. OHMITE Modell (100+)
OHMITE Hochspannungs-Dickschichtwiderstand Standardmodell:
| Modell | Modell | Modell | Modell |
|---|---|---|---|
| MOX-1-121005FE(10MΩ/1%) | UM050V1005FE(100KΩ/1%) | MOX-1-131007FE(1GΩ/1%) | SM202032207FE(22MΩ/1%) |
| MOX-1-122205FE(22MΩ/1%) | UM050V1006FE(1MΩ/1%) | MOX-2-121005FE(10MΩ/1%) | SM202034707FE(47MΩ/1%) |
| MOX-1-123305FE(33MΩ/1%) | UM050V1007FE(10MΩ/1%) | MOX-2-125005FE(50MΩ/1%) | SM202035007FE(50MΩ/1%) |
| MOX-1-124705FE(47MΩ/1%) | UM050V5007FE(50MΩ/1%) | MOX-2-121006FE(100MΩ/1%) | SM202031008FE(100MΩ/1%) |
| MOX-1-125005FE(50MΩ/1%) | UM050V1008FE(100MΩ/1%) | MOX-2-122205FE(22MΩ/1%) | SM202031006JE(1MΩ/5%) |
| MOX-1-126805FE(68MΩ/1%) | SM404031005FE(100KΩ/1%) | UM030Z1005FE(100KΩ/1%) | MOX400231005FE(10MΩ/1%) |
| MOX-1-128205FE(82MΩ/1%) | SM404032205FE(220KΩ/1%) | UM030Z2205FE(220KΩ/1%) | MOX400232205FE(22MΩ/1%) |
| MOX-1-121006FE(100MΩ/1%) | SM404033305FE(330KΩ/1%) | UM030Z3305FE(330KΩ/1%) | MOX400234705FE(47MΩ/1%) |
| MOX-1-121506FE(150MΩ/1%) | SM404034705FE(470KΩ/1%) | UM030Z4705FE(470KΩ/1%) | MOX400235005FE(50MΩ/1%) |
| MOX-1-122206FE(220MΩ/1%) | SM404031006FE(1MΩ/1%) | UM030Z1006FE(1MΩ/1%) | MOX400231006FE(100MΩ/1%) |
| MOX-1-123306FE(330MΩ/1%) | SM404032206FE(2.2MΩ/1%) | UM030Z2206FE(2.2MΩ/1%) | MOX400232206FE(220MΩ/1%) |
| MOX-1-124706FE(470MΩ/1%) | SM404034706FE(4.7MΩ/1%) | UM030Z4706FE(4.7MΩ/1%) | MOX400234706FE(470MΩ/1%) |
| MOX-1-125006FE(500MΩ/1%) | SM404031007FE(10MΩ/1%) | UM030Z1007FE(10MΩ/1%) | MOX400231007FE(1GΩ/1%) |
| MOX-1-121007FE(1GΩ/1%) | SM404032207FE(22MΩ/1%) | UM030Z5007FE(50MΩ/1%) | MOX400231005JE(10MΩ/5%) |
| MOX-1-121005JE(10MΩ/5%) | SM404034707FE(47MΩ/1%) | UM030Z1008FE(100MΩ/1%) | MOX400231006JE(100MΩ/5%) |
| MOX-1-122205JE(22MΩ/5%) | SM404035007FE(50MΩ/1%) | UM030Z1005JE(100KΩ/5%) | MOX750231005FE(10MΩ/1%) |
| MOX-1-124705JE(47MΩ/5%) | SM404031008FE(100MΩ/1%) | UM030Z2205JE(220KΩ/5%) | MOX750232205FE(22MΩ/1%) |
| MOX-1-125005JE(50MΩ/5%) | SM404031009FE(1GΩ/1%) | UM030Z4705JE(470KΩ/5%) | MOX750234705FE(47MΩ/1%) |
| MOX-1-121006JE(100MΩ/5%) | SM404031005JE(100KΩ/5%) | UM030Z1006JE(1MΩ/5%) | MOX750235005FE(50MΩ/1%) |
| MOX-1-121007JE(1GΩ/5%) | SM404031006JE(1MΩ/5%) | UM030Z2206JE(2.2MΩ/5%) | MOX750231006FE(100MΩ/1%) |
| MOX-1-131005FE(10MΩ/1%) | SM202031005FE(100KΩ/1%) | UM030Z4706JE(4.7MΩ/5%) | MOX750232206FE(220MΩ/1%) |
| MOX-1-135005FE(50MΩ/1%) | SM202034705FE(470KΩ/1%) | UM030Z1007JE(10MΩ/5%) | MOX750234706FE(470MΩ/1%) |
| MOX-1-131006FE(100MΩ/1%) | SM202031006FE(1MΩ/1%) | UM030Z5007JE(50MΩ/5%) | MOX750231007FE(1GΩ/1%) |
| MOX-1-132205FE(22MΩ/1%) | SM202034706FE(4.7MΩ/1%) | UM030Z1008JE(100MΩ/5%) | MOX750231005JE(10MΩ/5%) |
| MOX-1-134705FE(47MΩ/1%) | SM202031007FE(10MΩ/1%) | UM030Z1009JE(1GΩ/5%) | MOX750235005JE(50MΩ/5%) |
6. HVC
HVR-[Series]-[Size]-[Resistance]-[]-[Power]-[Voltage]
| HVR | Hochspannungswiderstand | HVR-GFP-101 |
| GFP/GHP | Modellreihe | GFP=, GHP=Standard |
| Größe | Modellreihe | 101, 102, 204, 308 |
| Robustes Design | 100 kΩ = 100 kΩ, 10 MΩ = 10 MΩ | 100, 1 Mio., 10 Mio. |
| F=±1%, J=±5% | F | |
| Tuning | 0.25W, 0.5W, 2W, 4W | 0.25W |
| Stromspannung | 1.5 kV, 5 kV, 10 kV, 30 kV | 1.5kV |
SLIM-MOX 102 → HVR-GFP-102-1M-F-0.5W-5kV
7. OHMITE-Modell
OHMITE Slim-Mox / Ultra-Mox Serie Modell (100)
| Modell 1 | Modell 2 | Modell 3 | Modell 4 | Modell 5 |
|---|---|---|---|---|
| SM102031005FE | SM102031006FE | SM102031010FE | SM102031015FE | SM102031020FE |
| SM102031025FE | SM102031030FE | SM102031050FE | SM102031100FE | SM102032005FE |
| SM102032010FE | SM102032015FE | SM102032020FE | SM102032025FE | SM102032030FE |
| SM102032050FE | SM102032100FE | SM102033005FE | SM102033010FE | SM102033015FE |
| SM102033020FE | SM102033025FE | SM102033030FE | SM102033050FE | SM102033100FE |
| SM102034005FE | SM102034010FE | SM102034015FE | SM102034020FE | SM102034025FE |
| SM102034030FE | SM102034050FE | SM102034100FE | SM102035005FE | SM102035010FE |
| SM102035015FE | SM102035020FE | SM102035025FE | SM102035030FE | SM102035050FE |
| SM102035100FE | SM102036005FE | SM102036010FE | SM102036015FE | SM102036020FE |
| SM102036025FE | SM102036030FE | SM102036050FE | SM102036100FE | SM102037005FE |
| SM102037010FE | SM102037015FE | SM102037020FE | SM102037025FE | SM102037030FE |
| SM102037050FE | SM102037100FE | SM102038005FE | SM102038010FE | SM102038015FE |
| SM102038020FE | SM102038025FE | SM102038030FE | SM102038050FE | SM102038100FE |
| SM102039005FE | SM102039010FE | SM102039015FE | SM102039020FE | SM102039025FE |
| SM102039030FE | SM102039050FE | SM102039100FE | SM102040005FE | SM102040010FE |
| SM102040015FE | SM102040020FE | SM102040025FE | SM102040030FE | SM102040050FE |
| SM102040100FE | SM203041005FE | SM203041010FE | SM203041015FE | SM203041020FE |
| SM203041025FE | SM203041030FE | SM203041050FE | SM203041100FE | SM203042005FE |
| SM203042010FE | SM203042015FE | SM203042020FE | SM203042025FE | SM203042030FE |
| SM203042050FE | SM203042100FE | SM204041005FE | SM204041010FE | SM204041015FE |
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