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HVC HVR vs. OHMITE: Auswahlhilfe für Hochspannungs-Dickschichtwiderstände

Zusammenfassung · Technische Highlights

Eine Studie zur Dickschichttechnologie basierend auf einer leitfähigen RuO₂-Phase und einem Al₂O₃-Keramiksubstrat. Diese Arbeit analysiert systematisch die Materialzusammensetzung und den Herstellungsprozess.

2026-04-13·19 min gelesen· Lesen 0 mal

Antwort aus dem Ingenieurwesen

Dieser Artikel bietet einen detaillierten technischen Vergleich und Querverweis Informationen zu Hochspannungskomponenten, die Ingenieuren helfen, geeignete HVC-Alternativen für ihre spezifischen Anwendungsanforderungen zu identifizieren.

  • Abstimmung anhand von Nennspannung, Kapazitäts-/Widerstandswert, physikalischen Abmessungen und dielektrischer Klasse.
  • Fordern Sie Querverweistabellen und Maßzeichnungen von der HVC-Entwicklungsabteilung zur Überprüfung der mechanischen Passung an.
  • Prüfen Sie den Ersatz unter voller Betriebsspannung und -temperatur, bevor Sie die Produktionsersetzung genehmigen.

Ein technischer Überblick über leitfähige RuO₂-Phasenmaterialien, Al₂O₃-Keramiksubstrate und die daraus resultierenden Leistungsvorteile.

Abstract

Die HVR-Serie von HVC nutzt RuO₂-Leitmaterial und ein 96%iges Al₂O₃-Keramiksubstrat, um durch Siebdruck und Hochtemperatursintern eine stabile Hochspannungsleistung zu erzielen. Testergebnisse zeigen einen Temperaturkoeffizienten des Widerstands (TCR) von ±15 ppm/°C und einen Spannungskoeffizienten des Widerstands (VCR) von 0.1 ppm/V, wodurch die Serie eine praktikable Alternative zu OHMITE-Dickschichtwiderständen darstellt.

1. Einleitung

Hochspannungs-Dickschichtwiderstände finden breite Anwendung in der Leistungselektronik, Medizintechnik und Präzisionsinstrumentierung. Da Geräte immer kleiner und anspruchsvoller werden, benötigen Entwickler eine bessere Temperaturstabilität, Spannungslinearität und Langzeitstabilität, als viele herkömmliche Lösungen bieten können.

Dieser Artikel erklärt, wie die HVR-Serie von HVC diese Anforderungen erfüllt und als kompatible Alternative zu OHMITE-Produkten dient.

2. Materialsystem

2.1 Leitfähiges Phasenmaterial: RuO₂-basierte Dickschichtwiderstandspaste

RuO₂ (Rutheniumdioxid) ist die zentrale leitfähige Phase in der Widerstandspaste und bietet folgende Vorteile:

  • Widerstand: Ungefähr 35 μΩ·cm bei Raumtemperatur, einstellbar über die Partikelgröße und den Glasanteil.
  • Thermische Stabilität: Stabil bei einer Sintertemperatur von 850°C ohne Phasenumwandlung.
  • Chemische Stabilität: Beständig gegen Säure- und Laugenkorrosion in rauen Umgebungen.
  • Leitungsmechanismus: Metallische Wärmeleitung mit einstellbarem Temperaturkoeffizienten.
  • Der Widerstand eines RuO₂-basierten Dickschichtwiderstands kann näherungsweise wie folgt berechnet werden:

    R = ρ × (L/W) × (1/t)

    Hierbei ist ρ der Flächenwiderstand (Ω/□), L die Widerstandslänge, W die Breite und t die Schichtdicke. Durch Lasertrimmen lässt sich eine Widerstandstoleranz von ±1 % erreichen.

    2.2 Substratmaterial: 96 % Al₂O₃-Keramik

    96% Aluminiumoxidkeramik ist das Standardsubstrat für diese Widerstandsklasse, da sie elektrische Isolation mit stabiler mechanischer Leistung verbindet.

  • Dielektrizitätskonstante: εr ≈ 9.0 bei 1 MHz
  • Dielektrischer Verlust: Niedriger tan δ-Wert bei 1 MHz.
  • 3. Herstellungsprozess

    3.1 Siebdrucktechnologie

    RuO₂-Paste wird mithilfe eines Edelstahlsiebs mit einer Maschenweite von 200-325 auf das Al₂O₃-Substrat gedruckt.

    Typische Prozessparameter:

  • Abzieherdruck: 20-30 N
  • Druckgeschwindigkeit: 50-100 mm/s
  • Abreißabstand: 1-2 mm
  • Nassfilmdicke: 25-50 μm
  • 3.2 Sinterprozess

    Typisches Sinterprofil:

  • Aufheizphase: Raumtemperatur → 850 °C mit ca. 50 °C/min
  • Haltephase: 850 °C für 60-90 Minuten
  • Abkühlphase: Natürliche Abkühlung auf Raumtemperatur
  • Beim Sintern schmilzt die Glasphase und umschließt die RuO₂-Partikel, wodurch ein stabiles, dreidimensionales leitfähiges Netzwerk entsteht. Die endgültige Filmdicke beträgt typischerweise 40–50 % der Nassfilmdicke.

    4. Elektrische Leistungsprüfung

    4.1 Prüfung des Temperaturkoeffizienten des Widerstands (TCR)

    Der Temperaturkoeffizient (TCR) beschreibt die relative Widerstandsänderung in Abhängigkeit von der Temperatur:

    TCR = (R₂ - R₁) / [R₁ × (T₂ - T₁)] × 10⁶ (ppm/°C)

    Prüfbereich: -55 °C bis +155 °C. Die gemessene HVC-HVR-Genauigkeit betrug ±15 ppm/°C und war damit besser als der branchenübliche Wert von ±50 ppm/°C.

    4.2 Spannungskoeffizienten-Widerstandsprüfung (VCR-Prüfung)

    VCR ist die relative Widerstandsänderung bei angelegter Spannung:

    VCR = (ΔR/R) / V × 10⁶ (ppm/V)

    Der gemessene VCR-Wert beträgt 0.1 ppm/V und zeigt damit eine hohe Widerstandsstabilität unter Hochspannungsbelastung.

    4.3 Langzeitstabilitätsprüfung

    HVC führte einen 1000-Stunden-Lasttest gemäß MIL-STD-202 bei Nennleistung und einer Umgebungstemperatur von +70°C durch.

    Testergebnisse:

  • Widerstandsdrift: < ±0.5 %
  • Sichtprüfung: Keine Risse, Blasen oder Verfärbungen
  • Spannungsfestigkeitsprüfung: Bestanden (1.5-fache Nennspannung)
  • 5. Leistungsvergleich mit OHMITE-Produkten

    Die wichtigsten Vergleichswerte zwischen HVC HVR und OHMITE Slim-Mox sind nachfolgend zusammengefasst.

    Parameter HVC HVR OHMITE Slim-Mox
    Temperaturkoeffizient ±15 ppm/°C ±50 ppm/°C
    Spannungskoeffizient 0.1 ppm/V < 1 ppm/V
    Widerstandstoleranz ± 1% ± 1%
    Betriebstemperatur -55 Bis + 155 ° C -55 Bis + 155 ° C

    6. Fazit

    Die HVR-Serie von HVC bietet dank optimierter RuO₂-Pastenformulierung und kontrolliertem Sintern eine hohe Temperaturstabilität und Spannungslinearität. Sie erfüllt oder übertrifft wichtige OHMITE-Benchmarks und zeichnet sich gleichzeitig durch kürzere Lieferzeiten und flexible Anpassungsmöglichkeiten aus.

    7. OHMITE-zu-HVC-Modell-Querverweis

    Die folgenden Tabellen fassen repräsentative HVC-Ersatzoptionen für die wichtigsten OHMITE-Dickschichtwiderstandsfamilien zusammen.

    A. Slim-Mox-Serie (03)

    OHMITE-Modell Leistung (W) Spannung (kV) A (mm) B (mm) C (mm) (Mm) D (mm) HVC-Modell
    SLIM-MOX10003 0.25 1.5 7.62 7.62 2.54 2.5 0.635 HVRGHP8.8
    SLIM-MOX10103 0.5 2 8.64 8.38 5.08 - 0.635 HVRGHP9.8
    SLIM-MOX10203 1 5 8.64 14.73 10.16 - 0.813 HVRGHP9.15
    SLIM-MOX10303 1.25 7.5 8.64 21.08 15.24 - 0.813 HVRGHP9.21
    SLIM-MOX10403 1.5 10 8.64 27.43 22.86 - 0.813 HVRGHP9.27
    SLIM-MOX10603 2 15 8.64 40.13 35.56 - 0.813 HVRGHP9.40
    SLIM-MOX10803 2.5 20 8.64 52.83 48.26 - 0.813 HVRGHP9.53
    SLIM-MOX20203 1.5 5 14.99 14.73 10.16 - 0.813 HVRGHP15.15
    SLIM-MOX20403 2 10 14.99 27.43 22.86 - 0.813 HVRGHP15.27
    SLIM-MOX20603 2.5 15 14.99 40.13 35.56 - 0.813 HVRGHP15.40
    SLIM-MOX20803 3 20 14.99 52.83 48.26 - 0.813 HVRGHP15.53
    SLIM-MOX21003 3.5 25 14.99 65.53 60.96 - 0.813 HVRGHP15.66
    SLIM-MOX30603 3.5 15 21.34 40.13 35.56 - 0.813 HVRGHP21.40
    SLIM-MOX30803 4 20 21.34 52.83 48.26 - 0.813 HVRGHP21.53
    SLIM-MOX31003 4.5 25 21.34 65.53 60.96 - 0.813 HVRGHP21.66
    SLIM-MOX40403 3 10 27.69 27.43 22.86 - 0.813 HVRGHP28.27
    SLIM-MOX40803 5 20 27.69 52.83 48.26 - 0.813 HVRGHP28.53
    SLIM-MOX41003 5.5 25 27.69 65.53 60.96 - 0.813 HVRGHP28.66

    B. Slim-Mox Serie (02)

    OHMITE-Modell Leistung (W) Spannung (kV) A (mm) B (mm) C (mm) (Mm) D (mm) HVC-Modell
    SLIM-MOX10002 0.4 1.5 5.08 5.08 2.54 1.8 0.635 HVRGHP5.5
    SLIM-MOX10102 0.75 2 6.35 6.35 5.08 - 0.635 HVRGHP6.6
    SLIM-MOX10202 1.5 5 6.35 12.7 10.16 - 0.813 HVRGHP6.13
    SLIM-MOX10302 2 7.5 6.35 19.05 15.24 - 0.813 HVRGHP6.19
    SLIM-MOX10402 2.5 10 6.35 25.4 22.86 - 0.813 HVRGHP6.25
    SLIM-MOX10602 3.25 15 6.35 38.1 35.56 - 0.813 HVRGHP6.38
    SLIM-MOX10802 4.25 20 6.35 50.8 48.26 - 0.813 HVRGHP6.51
    SLIM-MOX20202 2.5 5 12.7 12.7 10.16 - 0.813 HVRGHP13.13
    SLIM-MOX20402 3.25 10 12.7 38.1 22.86 - 0.813 HVRGHP13.38
    SLIM-MOX20602 4.25 15 12.7 38.1 35.56 - 0.813 HVRGHP13.38
    SLIM-MOX20802 5 20 12.7 50.8 48.26 - 0.813 HVRGHP13.51
    SLIM-MOX21002 5.75 25 12.7 63.5 60.96 - 0.813 HVRGHP13.64
    SLIM-MOX30602 5.5 15 19.05 38.1 35.56 - 0.813 HVRGHP19.38
    SLIM-MOX30802 6.75 20 19.05 50.8 48.26 - 0.813 HVRGHP19.51
    SLIM-MOX31002 7.5 25 19.05 63.5 60.96 - 0.813 HVRGHP19.64
    SLIM-MOX40402 5 10 25.4 25.4 22.86 - 0.813 HVRGHP25.25
    SLIM-MOX40802 8.25 20 25.4 50.8 48.26 - 0.813 HVRGHP25.51
    SLIM-MOX41002 9 25 25.4 63.5 60.96 - 0.813 HVRGHP25.64

    C. Ultra-Mox-Serie

    OHMITE-Modell Leistung (W) Spannung (kV) A (mm) B (mm) C (mm) HVC-Modell
    UM025 1 15 25 9 22.90 HVRGHP9.25
    UM030 1 10 30 6 27.7 HVRGHP6.30
    UM040 1.2 20 40 6 37.8 HVRGHP6.40
    UM050 3 30 50 12.5 47.8 HVRGHP13.50

    D. ARC2-Serie

    OHMITE-Modell Leistung (W) Spannung (kV) A (mm) B (mm) C (mm) HVC-Modell
    ARC2-2 3.8 9 27 8 0.8 HVRBSP27
    ARC2-3 5 12 37 8 0.8 HVRBSP37
    ARC2-5 7.5 18 52 8 0.8 HVRBSP52
    ARC2-7 10 24 78 8 0.8 HVRBSP78
    ARC2-10 12.5 36 103 8 0.8 HVRBSP103
    ARC2-12 15 42 128 8 0.8 HVRBSP128
    ARC2-15 17 54 153 8 0.8 HVRBSP153

    E. MOX-Serie

    OHMITE-Modell Leistung (W) Spannung (kV) A (mm) B (mm) C (mm) HVC-Modell
    MOX-1-12 2.5 10 28.45 7.87 0.8 HVRBSP28
    MOX-2-12 5 20 53.85 7.87 0.8 HVRBSP54
    MOX-3-12 7.5 30 79.24 7.87 0.8 HVRBSP79
    MOX-4-12 10 40 104.65 7.87 0.8 HVRBSP105
    MOX-5-12 12.5 50 130.05 7.87 0.8 HVRBSP130
    MOX-1-13 2 10 28.96 8.76 0.8 HVRBSP29
    MOX-2-13 3 20 54.36 8.76 0.8 HVRBSP54
    MOX-3-13 4 30 79.76 8.76 0.8 HVRBSP80
    MOX-4-13 5 40 105.16 8.76 0.8 HVRBSP105
    MOX-5-13 6 50 130.56 8.76 0.8 HVRBSP131
    MOX-400-22 0.35 2.5 12.95 3.56 0.5 HVRBOP13
    MOX-750-22 0.7 5 20.83 3.56 0.5 HVRBOP21
    MOX-1125-22 1.4 7.5 30.73 3.56 0.5 HVRBOP31
    MOX-400-23 0.75 2.5 14.78 4.19 0.5 HVRBOP15
    MOX-750-23 1 5 22.35 4.19 0.5 HVRBOP22
    MOX-1125-23 1.5 7.5 32.26 4.19 0.5 HVRBOP32
    MOX910 3.9 9.4 27.2 8.2 1 HVRBSP27
    MOX920 4.6 13.8 39.5 8.2 1 HVRBSP40
    MOX930 7.8 20 52 8.2 1 HVRBSP52
    MOX940 11.7 30 77.6 8.2 1 HVRBSP78
    MOX950 12.5 40 103.2 8.2 1 HVRBSP103
    MOX960 15.5 50 123.7 8.2 1 HVRBSP124
    MOX970 19.4 60 153.7 8.2 1 HVRBSP154

    HVC-Produktfamilien

    HV-Keramikscheibenkondensatoren1KV–70KV Radialanschluss, N4700 Dielektrikum für Spannungsvervielfacher- und Filteranwendungen. Hochspannungs-Türknaufkondensatoren20 kV–150 kV Schraubanschluss, hohe Energiedichte für Impulsleistungssysteme. Hochspannungs-DickschichtwiderständeFlache und röhrenförmige Hochspannungswiderstände, Toleranz ±0.1%, bis zu 100 kV.
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